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清华与电子申请微机电系统换能器及制造方法，提高密封双膜结构的微机电系统换能器的灵敏度:机电制造
金融界2025年6月28日消息，国家知识信息显示，清华大学;电子控股有限责任公司申请一项名为“微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法”的，公开号CN120224098A，申请日期为2025年0
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金融界2025年6月28日消息，国家知识信息显示，清华大学;电子控股有限责任公司申请一项名为“微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法”的，公开号CN120224098A，申请日期为2025年0