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清华与电子申请微机电系统换能器及制造方法，提高密封双膜结构的微机电系统换能器的灵敏度:机电制造
金融界2025年6月28日消息，国家知识信息显示，清华大学;电子控股有限责任公司申请一项名为“微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法”的，公开号CN120224098A，申请日期为2025年0
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意法半导体申请用于制造具有室的微机电器件的工艺以及微机电器件，将第一室流体地耦合到外部:机电制造
金融界2025年6月17日消息，国家知识信息显示，意法半导体国际公司申请一项名为“用于制造具有室的微机电器件的工艺以及微机电器件”的，公开号CN120157083A，申请日期为2024年12月机电制造
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