金融界2025年6月28日消息，国家知识信息显示，清华大学;电子控股有限责任公司申请一项名为“微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法”的，公开号CN120224098A，申请日期为2025年03月机电制造 。
摘要显示，本发明提供一种微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法，涉及半导体器件技术领域机电制造 。其中，微机电系统换能器包括：第一膜，第一膜包括至少一个第一拱形膜单元；第二膜，第二膜具有至少一个与第一拱形膜单元对称设置的第二拱形膜单元；支撑柱，支撑柱的两端分别固定连接第一拱形膜单元和第二拱形膜单元；真空腔体，由第一拱形膜单元、第二拱形膜单元以及支撑柱共同围绕形成。本发明可以有效提高密封双膜结构的微机电系统换能器的灵敏度和稳定性。
来源：金融界